일본 엔화 약세 등으로 지난해와 올해 상반기에 걸쳐 대만에서 고전했던 국내 반도체 장비 업체들이 다시 대만 시장 공략에 박차를 가하고 있다.
11일 대만에서 개막된 ‘세미콘 타이완 2006’에서 케이씨텍·세메스·디아이 등 국내 주요 반도체 전후공정 장비 업체들은 최근 투자를 늘리고 있는 대만 시장을 겨냥, 신제품 장비들을 대거 선보이며 반도체 장비 ‘한류’ 열풍에 불을 붙였다.
1년 이상 계속돼 온 환율 문제와 경쟁 격화를 극복하기 위해 원가 절감과 기술 개발 노력을 기울여 온 국내 업체들은 최근 탄탄해진 가격 및 기술 경쟁력을 바탕으로 생산성과 수율 향상에 기여하는 장비를 대거 공개, 대만 반도체 장비 시장을 공략한다는 계획이다.
케이씨텍(대표 고석태 이순창)은 반도체용 300㎜ 웨이퍼 세정기와 진공에서만 쓰이던 플라즈마를 대기압에서 처리해 접착력과 유기물 제거 능력을 좋게 한 건식 세정 모듈인 APP 세정기 등 고부가 장비를 선보였다.
세메스(대표 이승환) 역시 300㎜ 웨이퍼 매엽식 세정장비를 공개했다. 이 장비는 2층 구조로 돼 있어 공정의 균일도가 좋은 매엽 장비의 장점을 살리면서도 기존 매엽식 장비에 비해 40% 가까운 생산성 증가 효과를 볼 수 있다. 공간을 적게 차지하는 것도 장점이다.
디아이(대표 변재현)는 주검사장비의 일부 기능을 포함하는 웨이퍼번인테스터 장비 등 검사 효율을 높인 테스트 장비를 선보이며 올해 대만 시장을 중심으로 작년보다 1.5배 이상 매출 신장을 기대하고 있다. 이 제품은 동시에 2가지 종류의 웨이퍼에 대한 검사가 가능, 검사 효율을 높인 것이 특징이다.
최근 대만 공장을 준공한 코미코(대표 전선규)는 부품 세정·스프레이 코팅 등 기존 제품과 함께 반도체 검사용 프로브카드, 웨이퍼 측면을 가공해 결함을 줄이는 베벨 에처 등 신제품도 함께 공개했다. 유니셈(대표 정진기)은 저온에서 친환경적으로 PFC 가스를 분해할 수 있는 촉매식 스크러버를 앞세워 대만 시장을 공략하고 있다.
변재형 디아이 사장은 “대만은 파운드리와 후공정 업체들을 중심으로 반도체 활황이 지속 중”이라며 “국내 장비 업체들도 꾸준한 원가절감 및 기술 개발 노력으로 경쟁력을 높여 시장 경쟁에 대응하고 있다”고 말했다.
한편 대만 세계무역센터에서 열린 올해 ‘세미콘 타이완 2006’에는 세계 650여개 기업에서 1390개 부스 규모로 참가해 반도체 장비 및 재료 분야 최신 기술 동향을 선보였다.
타이베이(대만)= 한세희기자@전자신문, hahn@
