모티브,다층박막 두께·색도 동시 측정장비 개발

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 반도체 측정장비 개발업체 모티브(대표 오재석 http://www.motiveline.com)는 세계 최초로 반도체 다층박막 두께 및 색도를 동시에 측정할 수 있는 장비(모델명 Film Exp 시리즈·사진)를 개발했다고 23일 밝혔다.

 광주과학기술원(GIST) 신소재공학과 학생벤처창업기업으로 지난 4월 대전에서 출발한 이 업체가 개발한 장비는 다층박막의 두께와 색도의 두 가지 특성을 동시에 측정, 시간을 절반으로 단축할 수 있어 반도체 생산량 증대에 획기적으로 기여할 수 있다. 대부분 수입에 의존하고 있는 기존 제품은 다층박막의 두께와 색도를 각각 따로 따로 측정함으로써 측정시간이 길어 반도체 생산량을 늘리는 데 걸림돌로 작용돼 왔다.

 특히 이 제품의 크기는 경쟁제품에 비해 크기가 3분의 1정도 인데다 가격은 40% 수준이어서 반도체 장비업계에 새로운 바람을 불어넣을 것으로 기대를 모으고 있다. 이러한 강점을 마케팅 전략으로 활용, 국내 연구소 및 반도체 업계 뿐만 아니라 해외시장을 적극 공략해 올해 5억원의 매출을 올리는 등 매년 2∼3배 성장을 목표로 하고 있다.

 이 회사는 초고속 300mm 웨이퍼 박막두께 측정시스템(모델명 FilmExp Oneshot) 등 반도체 장비 관련 국제특허 5개를 출원하는 등 신제품 개발에도 박차를 가할 계획이다.

 지난 97년 GIST 신소재공학과 석사과정을 졸업하고 현재 박사과정을 밟고 있는 오재석 사장은 “반도체 생산라인에 적용할 수 있는 새로운 시스템을 지속적으로 개발해 현재 외국기업에 점유하고 있는 반도체 및 LCD 측정시스템 분야에 도전하겠다”고 말했다.

광주=김한식기자@전자신문, hskim@


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