선양디엔티(대표 양서일 http://www.sydnt.co.kr)는 반도체 장비 관련 특허를 취득했다고 20일 밝혔다.
선양디엔티가 받은 특허는 ‘반도체 싱귤레이션 방법’으로 반도체 재료를 자를 때 이를 움직이지 않도록 고정하는 기술이다. 이 기술을 이용하면 반도체 재료를 정밀하게 자를 수 있어 불량률이 떨어지고 생산성이 높아진다. 선양디엔티는 이 기술을 자사 반도체 장비에 사용할 예정이다.
장동준기자@전자신문, djjang@
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