동진쎄미켐(대표 이부섭 http://www.dongjin.com)은 TFT-LCD 공정재료인 식각액 시장에 신규 진출한다고 20일 밝혔다.
이 회사가 개발한 식각액은 기판 위의 여러 금속 막 중 하나에만 적용됐던 기존 제품과는 달리 게이트 및 데이터 전극에 모두 적용이 가능해 생산성을 향상시켰다. 또 사용 시간에 따른 조성물의 농도 변화가 적어 식각 작용이 균일하고 속도가 일정하다고 회사측은 설명했다.
현재 라인 적용 승인을 마치고 해외 주요 LCD 업체에 납품하고 있으며 국내 업체와도 승인을 추진 중이다.
동진쎄미켐은 자체 개발한 식각액 모니터링 시스템과 식각액을 포함, 내년 200억원의 매출을 올린다는 목표다. 식각액 모니터링 장비는 식각액의 각 성분의 상태를 실시간으로 알려주는 장비로 식각액 사용 시간에 따라 부족해진 성분을 첨가시켜 식각액 사용 시간을 연장시키고 폐액 발생을 줄일 수 있다.
이기범 상무는 “신규 개발한 식각액과 모니터링 시스템을 적용한 결과 5% 정도의 LCD 수율 개선 효과가 있었다”며 “기존 감광액·박리액 등과 함께 반도체·LCD 공정재료의 종합 솔루션을 제공하게 됐다”고 말했다.
한세희기자@전자신문, hahn@
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