서울정광, 적외선센서용 광학필터 국내 첫 개발

　서울정광(대표 심문식 http://www.spocc.com)은 스파터링 공법의 적외선 센서용 광학 필터<사진>를 국내에서 처음 개발했다고 7일 밝혔다.

　이 필터는 적외선 센서에 들어오는 광학 신호 중에서 원하는 대역의 적외선 신호만을 걸러주는 필터로 사람의 움직임이나 자동차 유해가스 등을 적외선 신호로 감지하는 센서나 화재감지기, 천체관측 시스템, 레이저 관련 응용기기 등에 필요한 부품이다. 사람은 약 9∼10㎛, 이산화탄소는 4.26㎛ 정도의 적외선신호를 방출한다는 점을 이용했다.

　서울정광은 스파터링 공법을 이용해 실리콘 웨이퍼에 특수가스를 코팅하는 방식으로 이 필터를 개발했으며 미국 OCLI, 일본의 OCJ 등 몇 회사가 과점해 온 제품이다.

　이 제품은 미국 군수물품 표준인 MIL-C 48497A를 만족시킨 것은 물론이고 120℃와 -40℃에서 10일간의 신뢰도 측정 테스트에서도 박막에 이상이 없다.

　이 회사는 한 달에 4인치 크기 웨이퍼 8000장을 생산할 수 있는 설비를 갖췄으며 웨이퍼 한 장으로 240개 정도의 필터를 만들 수 있어, 서울정광은 한 달에 약 200만개 필터생산이 가능하다.

　심문식 사장은 “스파터링 공법은 정밀한 제어가 가능한 데다 기존방식에 비해 3배 이상의 양산성을 자랑한다” 면서 “이 제품을 주로 해외에 수출해 내년에는 40억원 이상의 매출을 올릴 수 있을 것으로 기대한다”고 말했다.

문보경기자@전자신문, okmun@