LCD 장비 업체인 AKT코리아(대표 김명선)는 8세대 플라즈마 화학증착장비(PECVD)인 ’AKT-50K’를 19일 발표했다.
이 장비는 2160㎜x2400㎜ 크기의 유리기판 1장당 6장의 LCD용 52인치 평판 TV 스크린을 생산할 수 있어 이전 모델인 7세대 장비와 비교해 생산량이 2배에 달한다.
기판처리능력은 연속적인 3층 복합 증착막(gate-SiNx, a-Si, n+a-Si)으로는 시간당 30장 이상의 기판을 처리할 수 있으며 단층 증착막으로는 시간당 60장 이상의 기판을 처리할 수 있다.
PECVD는 박막 트랜지스터(TFT) 제조를 위해 막을 입히는 데 사용하는 LCD 제조공정의 핵심 장비다.
회사측은 이 장비를 LCD 패널 제조사로부터 주문을 받아 내년 초부터 공급할 예정이다.
웬델 블로니간 AKT 본사 사장은 “대형 평판 TV 판매가 지난 3년간 급격히 증가하고 있다”며 “8세대 장비가 LCD패널 제조사의 생산비를 절감시켜 소비자들이 수용가능한 가격까지 LCD TV의 가격을 낮출 수 있게 할 것”이라고 말했다.
김용석기자@전자신문, yskim@
