포항소재 진공장비 전문업체인 알파플러스(대표 황도원 http://www.alpa-plus.co.kr)가 국내 최초로 기존 물리증착(PVD) 방식을 한단계 끌어 올린 초고진공 박막형성장비인 ‘분자선증착시스템(MBE:Molecular Beam Epitaxy, 모델명:α-MBE series)’를 개발해 본격적인 시판에 나섰다고 18일 밝혔다.
연구소나 기업은 그동안 반도체나 디스플레이 분야의 경우 해외에서 미리 분자선증착시스템으로 기판에 결정성장된 재료를 고가에 수입해서 사용해 왔으나 이번 장비 국산화를 통해 수입대체 효과를 기대할 수 있게 됐다.
포항테크노파크 입주기업 알파플러스가 개발한 분자선증착시스템은 물리증착장비에 비해 나노스케일의 초고진공 반응관을 사용하기 때문에 정밀한 결정성장이 필요한 분야에서는 필수장비다. 특히 이 시스템은 외산과는 달리 이온펌프와 셀, 챔버(Chamber) 등 구성부품들을 알파플러스가 직접 제작했기 때문에 성능대비 가격이 외산의 50% 수준으로 저렴하다.
그동안 국내에 공급돼 온 분자선증착장비는 주로 프랑스 ‘리베르(Riber)’사와 미국 ‘VG’사로부터 수입해 온 장비로 약 50여 대가 연구소나 기업 생산라인에서 가동되고 있다.
이번에 개발된 분자선증착시스템은 내달 말께 국내 모 정부출연연구소에 처음으로 공급돼 연구개발 및 생산용으로 활용될 예정이다.
황도원 사장은 “초기에는 연구개발용 수요에 대응하고, 2년 정도 지나면 연구용뿐만 아니라 기업체 생산용 수요가 크게 늘어날 것으로 기대하고 있다”며 “당장 내년부터 연간 평균 10여 대 이상씩 공급할 수 있을 것”이라고 전망했다.
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포항=정재훈기자@전자신문, jhoon@
