에프에스티(대표 장명식)는 대만 D램업체인 프로모스로부터 50만달러 규모의 전극제어 칠러를 수주했다고 8일 밝혔다.
이번 프로모스에 공급하는 전극제어 칠러(모델명 FSTC-HC346·사진)는 반도체 공정장비의 전극온도 상승을 방지해 전극의 온도를 일정하게 유지해주는 인공지능형 온도제어장치이다.
식각공정에서 발생되는 열의 양을 예측하고, 온도제어를 실행하며 장비와 전극제어 칠러 사이에 실시간의 데이터를 상호교환하면서 공정온도를 관리하는 역할을 한다.
프로모스는 9월 중 300㎜ 웨이퍼 양산을 목표로 D램 생산의 전환작업을 추진하고 있으며, 에프에스티의 전극제어 칠러는 대만 타이충(Taichung)에 위치한 프로모스 300㎜팹(FAB3) D램 생산라인에 들어갈 예정이다.
에스에프티 관계자는 “그동안 대만 칠러장비 시장은 반도체 제조사가 아닌 TEL·AMAT·LRC와 같은 공정장비업체가 지정하는 스탠다드 칠러(반도체 제조사에서 칠러를 지정치 않을 경우, 공정장비회사가 칠러를 지정하는 것)가 우세했다”며 “이번 경우처럼 대만 반도체 제조사가 직접 칠러공급사를 지정한 것은 전례가 없었던 것으로, 에프에스티의 칠러장비가 기술력을 인정받는 초석을 마련한 것”이라고 밝혔다.
심규호기자@전자신문, khsim@
