LCD용 검사·세정장비 등 외국 선진기업 기술력 추월

　LCD용 검사·세정 및 자동화장비는 국산 장비의 기술 수준이 외국 선진기업에 비해 우수하거나 동등한 것으로 분석됐다. 그러나 리소그라피(노광)장비는 반도체·LCD용 모두 선진기업에 10년 정도 뒤져 있는 것으로 평가됐다.

　11일 삼성전자가 자체 분석한 자료에 따르면 국내 장비업체의 LCD 분야 검사설비(장비)·세정기·자동화설비는 이미 선진기업 기술력을 넘어선 것으로 파악됐다.

　또 반도체용 에처장비(드라이에처·습식에처)와 화학기상증착(CVD)장비 등은 그 격차가 6개월에서 1년 정도로 선진기술에 근접해 있으나, 일부 특허 이슈가 잔존해 있다.

　반도체용과 달리 개발비 부담이 큰 LCD용 에처와 CVD장비는 약 3년, 스퍼터(박막증착)장비는 5년 정도의 격차가 있는 것으로 삼성 측은 진단하고 있다.

　세계 선진기업과의 기술 격차가 가장 큰 것으로 분석된 장비는 리소그라피장비로, 반도체용과 LCD용 모두 기술 차이를 극복하는 데 약 10년이 소요될 것으로 조사됐다. 특히 이 분야는 국내 업계가 렌즈설계·제작·광원기술 등의 핵심기술을 거의 확보하지 못하고 있어, 적극적인 기술 개발에 나서지 않고 있다.

　또 반도체용 테스터장비도 아직 일부만 국산화된 상태로, 기반기술이 부족해 선진기업과 9년 정도의 격차를 보이는 것으로 나타났다.

　이와 관련, 반도체업계 한 관계자는 “반도체·LCD용 에처·CVD장비의 경우 국내 장비업계에서 최고 기술력을 확보한 업체와 선진업체와의 경쟁력을 분석하면 그 차이가 거의 없다”며 “특히 최근 국내 반도체·디스플레이업체들이 국산 에처·CVD장비 도입 및 평가에 적극적으로 나서고 있어 업계 평균 기술 격차도 한층 빠르게 좁혀질 것”이라고 말했다.

심규호기자@전자신문, khsim@