관련 통계자료 다운로드 주요 디스플레이분야 중기거점과제 대면적 대응이 가능하고 유기 물질 사용 효율을 높일 수 있는 하향식 유기발광다이오드(OLED) 증착기, 7세대 급 대면적용 적하식 액정 주입 장치, 7세대 유리 커팅 장비 등이 산·학 공동 협력으로 개발됐다.
1일 지난달 31일까지 강원도 평창군 보광피닉스 파크에서 ‘디스플레이 분야 1단계 3차년도 중기거점기술개발사업 워크숍’을 개최한 디스플레이연구조합(이사장 백우현)에 따르면 에이엔에스는370×470㎜(2세대)의 하향식 OLED 증착 장비를 개발 완료했다 .
이 장비는 기존 상향식 증착장비와 달리 대형화에 유리하고 고가의 유기물 손실률을 크게 줄인 것으로 평가된다.
코닉시스템은 5세대 적하식 액정주입장치(ODF)를 개발하고 이를 시스템화할 수 있는 어셈블리시스템과 제어 시스템도 개발하는 성과를 거뒀다. 탑엔지니어링은 1950×2250㎜(7.5세대)에 사용할 수 있는 유리커팅장비를 오는 8월까지 개발키로 했으며 디이엔티는 인라인 7세대 LCD 기판의 매크로 검사 장비 및 측정 시스템 개발에 성공했다. LG마이크론은 60인치에 사용할 수 있는 PDP용 포토마스크를 개발한 데 이어 8월까지는 70인치 대에도 사용할 수 있는 대형 포토마스크 개발까지 완료할 예정이다.
특히 에이엔에스는 200x200㎜ 하향식 증착장비를 수출하기도 했으며 코닉시스템은 대만 및 중국에 5세대급 ODF장비를 수출했다. LG마이크론은 이번 기술개발로 그동안 전량 수입에 의존해온 대형 포토마스크를 LG전자에 공급했으며 연 100매 정도의 대형 포토마스크를 판매할 계획이다. 디이엔티는 삼성전자 탕정 7세대 라인에 제품을 공급, 양산 평가를 앞두고 있다.
장비·부품 소재 공동기술개발 사업을 총괄하는 권상직 경원대 교수는 “중기거점 2단계 사업은 차세대 성장동력 디스플레이 사업과 연계해 과제 중복을 피하고 효율성을 높이는 방향으로 진행할 계획”이라며 “과제 도출 작업에 보다 많은 장비·소재 기업들의 참여를 기대한다”고 밝혔다.
지난 2002년 11월부터 오는 8월까지 진행되는 3차년도 디스플레이 분야 중기거점기술개발 사업에는 총 8개 세부 과제에 정부·민간 합쳐 총 200억 원이 투입됐다.
한편 산자부 ‘`중기거점기술개발사업’은 5년 내 10대 주력기간사업의 경쟁력을 획기적으로 제고할 수 있는 복합시스템기술 및 핵심요소기술을 일괄·통합 개발하는 사업으로 개발 기간은 2002년부터 2007년까지 5년이다.
유형준기자@전자신문, hjyoo@
