[비상하는 부품·소재·장비]장비-태화일렉트론

98년 11월 설립된 태화일렉트론(대표 신원호 http://www.thec.co.kr)은 반도체·디스플레이 세장장비 전문업체로, 최근 디스플레이 절단 장비를 개발에 사업을 다각화하고 있다.

이 회사는 장비업계에서는 드물게 삼성전자와 LG필립스LCD 양사에 장비를 공급하고 있다. 또 삼성SDI, 삼성코닝정밀, LG전자 등 대기업체에 LCD제조용 특수오븐장비 및 세정장비를 공급하면서 국내 LCD 제조장비 산업의 발전을 이끌고 있다.

태화일렉트론의 주요제품으로는 특수오븐장비인 HP/CP 시스템, PI 소성장치, IR 오븐과 세정장비인 LCD용 글라스 세정기, 반도체 및 LCD용 마스크 세정기 등이 있다. 최근 시장에 진출한 휴대폰용 TFT LCD 글라스 및 OLED 글라스 커팅 장비 ‘멀티셀 커팅 시스템’도 핵심 아이템으로 부상하고 있다.

HP/CP 시스템은 세정 후 글라스 표면의 코팅향상을 위한 탈수 공정과 코팅액 도포 후 적용되는 장비로 TFT-LCD, C/F, PDP, OLED, FED에 적용할 수 있다. 5세대 이후 국내 TFT LCD F라인에 공급하고 있다. PI소성장치 및 IR OVEN은 TFT LCD 셀 공정 중 도포한 배향막을 경화하는 장비로 TFT-LCD, PDP, OLED에 적용할 수 있다.

세정장비는 반도체 칩 및 LCD제조공정에서 웨이퍼나 글라스 표면의 불순물을 제거하는 장치로 세계최대사이즈인 G8용 장비를 일본 NEG社 납품하였고, 세계최초로 매엽식 포토 마스크 크리너를 개발해 G6부터 공급하고 있다.

또 이 회사가 최근 개발한 차세대 FPD 세정기는 우수한 기술력을 인정 받아 국내 TFT LCD 패널생산업체는 물론 대만의 AMTC사에 수출을 시작으로 중국의 BOE사 등 해외에 장비를 공급하고 또한 국내에서는 드물게 LCD장비 기술선진국인 일본의 NEG사에 TFT 원판글라스 세정장비를 수출하고 있다. 태화일렉트론은 현재의 LCD 제조장비기술은 물론, 향후 미래시장을 선점하기 위해서 차세대 장비 개발에 박차를 가하고 있다.