[비상하는 부품·소재·장비]장비-주성엔지니어링

주성엔지니어링(대표 황철주)은 TFT LCD 패널 제조용 플라즈마 화학증착(PECVD)장비와 반도체 전공정용 화학증착장치(CVD), 원자층증착(ALD)장비, 식각장비(드라이에처) 등 기술 장벽이 높은 첨단 장비로 세계 시장을 선도하는 기업이다.

이 회사의 원자층증착장치는 기존 화학증착장치를 대체하는 제품으로 0.10㎛ 이하의 설계에는 필수적으로 요구되며 신규 반도체 라인 투자 및 기존 반도체 라인의 보완 투자로 인해 수요가 빠르게 증가되고 있는 차세대 반도체 장치이다. 기존 원자층 증착장치의 가장 큰 문제점인 낮은 생산성을 극복하기 위해 주성은 기존의 밸브 조작 속도에 전적으로 의존하는 가스 공급 방식과 전혀 다른 신개념 로테이션 인젝터 방식을 적용한 차세대 장비를 개발했다. 이 방식은 반응 가스를 순차적으로 웨이퍼 표면에 공급해 200㎜ 또는 300㎜ 웨이퍼를 동시에 4∼5장 처리할 수 있어 화학증착 장치와 동일한 높은 생산성을 확보했다. 이 장비는 산업자원부 선정 세계 일류상품에 선정되는 등 ALD 제품의 생산성이 경쟁사 대비 평균 3배 높아 세계적인 경쟁력을 갖추고 있는 것이 특징이다.

주성의 LCD분야 주력 장치인 PE CVD 장치는 7·8세대의 대폭 커진 기판을 처리하기에 적합한 새로운 플라즈마 기술을 사용하여 우수한 막증착이 가능할 뿐만 아니라 주성이 특허받은 설계기법을 적용하여 챔버 크기 증대에 따른 유리기판 처리속도 저하 개선 및 경쟁사보다 더욱 많은 10개의 공정 챔버를 부착할 수 있어 생산성을 약 2배로 증가시켰다. 현재 주성은 일본 Sharp사의 8세대(2160×2400)에 대응 가능한 장치를 개발 완료한 상태다.

지난해 주성은 반도체 제품과 LCD용 제품 출하 대수 기준 50:50 수준을 유지, 반도체·디스플레이 부문에서 고른 매출을 기록한데 이어 반도체 전공정 핵심장비인 건식 식각장비를 개발, 국내 소자업체에 공급하며 제품 다변화에 나섰다. 주성엔지니어링은 올해 지난해 대비 34% 증가한 2,237억원 매출을 비롯, 영업이익·순이익은 각각 53%·25% 성장한 542억원·426억원을 예상하고 있다.