16일 나노종합팹센터 준공...장비 시범 가동

한국과학기술원(KAIST 총장 로버트 러플린)의 나노종합팹센터(소장 이희철 교수)가 오는 16일 원내에서 준공식을 갖고, 시범 가동에 들어간다.

　이날 준공식에는 오명 과학기술부 총리와 염홍철 대전시장, 심대평 충남도지사를 비롯한 출연연 기관장들이 대거 참석할 예정이다.

　이번에 문을 여는 나노종합팹 센터는 총 324억원을 들여 지하 1층 지상 1층의 팹 동과 지상 4층의 사무 동으로 구성되어 있으며 총넓이는 5448평이다.

　오는 4월 안정화 작업이 마무리되는 대로 본격 서비스에 들어갈 팹 장비는 1단계 사업에서 총 787억원을 들여 구입한 △O.2㎚까지 공정이 가능한 E빔 리소그라피 △웨이퍼 위에 패턴을 찍어내는 임프린트 △0.2㎚급 주사탑침현미경(TED) 등 140여 종이다.

　300억원대의 2단계 장비 구입은 오는 7월부터 시작된다.

　이희철 소장은 “규모 면에서 아시아 최초, 수준 면에서는 세계 최고 시설”이라며 “안정화 작업이 마무리되는 대로 장비별 단위공정에서 소자 제작을 위한 전 공정 서비스를 시작할 계획”이라고 말했다.

　박희범기자@전자신문, hbpark@