제일모직, KAIST 나노종합팹센터에 CMP슬러리 지원

제일모직(대표 제진훈)이 한국과학기술원(KAIST) 부설 나노종합팹센터에 나노 연구를 위한 연마제(CMP슬러리) 지원협약을 체결했다고 9일 밝혔다.

제일모직은 KAIST에 나노 연구의 필수 재료인 CMP슬러리를 나노종합팹센터에 공급하며 양측은 향후 고집적 나노소자 공동 개발을 위해 협력하게 된다.

이번 협약으로 나노종합팹센터는 연마 공정의 기초 재료인 CMP슬러리를 안정적으로 공급받게 되어 국내 나노기술 연구개발에 가속도가 붙게 됐다. 또 나노 연구를 위한 신물질을 양측이 공동 개발하기로 함에 따라 향후 나노 관련 산업의 규모 확대를 통해 세계적 경쟁력을 갖춰 나갈 수 있을 것으로 기대된다.

제일모직 김경대 상무는 “자체 기술로 개발한 첨단 나노 재료를 세계적 인프라를 갖춘 연구기관에 지원함으로써 제일모직의 전자재료 기술력을 인정받게 됐다”며 “향후 협력관계를 발전시켜 차세대 나노 기술 개발을 위한 지원을 강화해 나갈 것”이라고 말했다.

CMP슬러리는 나노소자 공정 중 두께가 일정하지 못한 부분을 화학적·기계적 방법으로 평탄화시키는 연마제로 고집적 나노 소자 개발의 핵심 전자재료다.

<한세희기자 hahn@etnews.co.kr>