주성엔지니어링, 원자층 증착장치 하이닉스에 공급

　주성엔지니어링(대표 황철주)은 하이닉스 반도체와 원자층 증착장치(ALD:Atomic Layer Deposition) 2대 공급계약을 체결했다고 24일 공식 발표했다.

　이번 공급계약을 체결한 장치는 반도체 라인에서 사용할 수 있는 세미 배치 타입의 원자층 증착 장치로 한 챔버 내에서 200밀리 웨이퍼 4장을 한꺼번에 처리할 수 있어 생산성을 크게 개선한 것으로 평가된다.

　주성은 미국, 유럽, 대만 등의 고객에게 ALD장비를 공급한 바 있는데, 이번 하이닉스반도체 양산라인에 공급됨으로써 제품 신뢰성이 한층 높아질 것으로 예상하고 있다. 장비 공급은 3월 중에 이뤄질 예정이다.

　주성 관계자는 “전세계 주요 반도체 업체들이 주성의 ALD장비에 대해 테스트 중이며 하이닉스외에 올 상반기에 일본의 한 업체에 12인치 라인용 ALD장비를 출하할 계획”이라고 밝혔다.

<유형준기자 hjyoo@etnews.co.kr>