신성이엔지, 기판 이송용 클린룸 시스템 개발

　신성이엔지(대표 김주헌 http://www.shinsung.co.kr)는 300mm 웨이퍼 및 LCD 기판용 이송, 반송 클린룸 시스템(모델명 클린튜브)을 국내 최초로 개발했다고 8일 밝혔다.

　이 시스템은 웨이퍼 및 LCD 기판이 움직이는 부분만 컨베이어벨트화 시켜 공기로 이동하는 시스템을 도입, 국부 클린룸을 설치하기 때문에 3층까지 올려야 했던 클린룸 공간을 절반 가까이 줄일 수 있다.

　또 이송용 로봇과 주변 시스템을 설치할 필요가 없으며 국부 클린룸 이외 공간은 청정도를 낮춰도 되기 때문에 건설비용을 크게 줄일 수 있는 것이 특징이다.

　회사측 관계자는 “300mm 웨이퍼 및 6, 7세대 LCD를 제조하기 위한 클린룸 비용은 천문학적으로 늘어나고 있어 제조 원가에 큰 부담이 되고 있기 때문에 2년전 본격 개발을 추진했다”라며 “내년까지 장비 클린룸 시스템 및 웨이퍼 보관용 창고, 카세트까지 완제품화 해서 선보일 계획이다”고 말했다.

　이 관계자는 “일본 업체도 비슷한 개념의 클린룸을 개발 중이 것으로 알고 있다”며 “이번 시스템 개발로 현재 난립 중인 클린룸 업계에서 후발 업체와 격차를 벌릴 수 있는 계기를 마련했다”고 말했다.

　한편 신성이엔지는 이달 말께 LCD용 클린튜브를 먼저 선보일 예정이다.

　<손재권기자 gjack@etnews.co.kr>