주성엔지니어링, 플라즈마 공정장치 특허 취득

　주성엔지니어링(대표 황철주·트렁도운)은 초단파 병렬 공명안테나를 구비한 플라즈마 공정장치와 관련한 기술특허를 취득했다고 19일 밝혔다.

　이 회사는 특허를 취득한 공정장치를 도입할 경우 “고주파 전력원에서 인가되는 전력의 주파수가 병렬 공명안테나와 진공 체임버 사이에 존재하는 공간 커패시터에 대한 영향이 커져 플라즈마 균일도를 높일 수 있다”고 덧붙였다.

<장지영기자 jyajang@etnews.co.kr>