아토, 청정생산기술사업 협약체결

　아토(대표 문상영 http://www.atto.co.kr)는 최근 한국생산기술연구원과 청정생산기술사업 과제협약을 맺었다고 28일 밝혔다.

　이번 과제 협약은 산업자원부의 지원으로 진행되는 국책과제로, 한국생산기술연구원의 총괄하에 삼성전자가 대표 주관기관을 맡고 아토가 세부 주관기관으로서 실질적 기술개발을 담당하게 된다.

　아토는 전자 및 반도체 분야에서 3년간 총 60억원이 투자되는 F2(Non-PFC) 가스 체임버 세정기술을 개발, 기존 수입에 의존하는 반도체 체임버 세정용 PFC가스의 수입대체 효과를 거둔다는 계획이다.

　아토의 문상영 사장은 “이번 과제협약에 따라 아토는 소자업체에 대한 F2 발생장치의 설치 및 운영, F2계 혼합가스와 F2세정용 CVD 장치 또는 부품의 제조 및 판매가 기대된다”며 “이를 기반으로 각 사업부의 매출 극대화를 달성하겠다”고 말했다.

　한편 PFC는 반도체 생산용 체임버 세정공정에 사용되는 지구온난화 물질로, 지난 99년 세계반도체협의회(WSC) 회의에서 오는 2010년까지 97년 대비 10% 이내로 감축하기로 합의된 바 있다.

　<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>