이큐베스텍(대표 남종현)은 최근 반도체 제조용 온도조절 장치인 칠러(모델명 EBT400L·사진)를 자체 개발, 하이닉스에 공급했다고 17일 밝혔다.
1년 6개월의 연구 끝에 개발한 이 제품은 7.5마력의 냉매식 칠러로 동관 배관라인 최소화, 컨트롤러 와이어의 단순화 등을 통해 규격을 최소화한 것이 특징이다. 또 소음방지용 모터를 사용해 소음을 크게 줄였으며 타사 제품 대비 70% 수준의 저렴한 가격으로 공급된다는 게 회사측 설명이다.
이 회사 관계자는 “하이닉스에 대한 납품에 앞서 동부아남반도체에 이 제품 10여대를 공급한 바 있다”며 “현재 다른 소자업체와도 활발한 장비수주 상담을 벌이고 있어 지속적인 판매량 증대가 예상된다”고 말했다.
한편 이큐베스텍은 하이닉스반도체 연구인력이 지난 2001년 분사한 벤처기업으로 냉매식 칠러를 개발한 데 이어 전기식 칠러 수리 및 개발 등으로 사업영역을 확대하고 있다.
<장지영기자 jyajang@etnews.co.kr>
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