ETRI, 고성능 실리콘 감지센서 NASA공급

　고정밀 천체 관측 장비나 의료용 엑스선 및 단층촬영기, 첨단 국방분야 야간투시경 등에 사용되는 고정밀 실리콘 감지센서가 국내에서 개발돼 미 항공우주국(NASA) 우주실험 프로젝트의 주요 부품으로 공급된다.

　한국전자통신연구원(ETRI http://www.etri.re.kr) 반도체·원천기술연구소 반도체공정운영팀(팀장 구진근)은 이화여대 물리학과 박일흥 교수팀과 공동으로 광통신 신호·자외선·엑스선·감마선·입자선 등을 정밀감지·측정할 수 있는 실리콘 핀(PIN) 다이오드 칩을 개발, NASA와 공급계약을 체결했다고 15일 밝혔다.

　실리콘 핀 다이오드 칩은 빛을 전기신호로 바꾸는 센서 역할을 하는 소자로 우주의 미세한 신호를 감지하는 천체관측 장비나 제철소 등에서 달궈진 금속이 방출하는 빛으로 온도를 측정하는 특수온도검출기 등에 활용되고 있다.

　이 센서는 외산과 비교할 때 미미한 광신호 포착 민감도에서 5배, 광신호 측정 정밀도에서 2배 이상 뛰어난 성능을 보였다. 제작단가도 5인치 웨이퍼(30㎠) 1장당 300달러 이하로 다른 제품의 절반 가격에 불과하다는 것이다.

　구진근 팀장은 “현재 전량 수입에 의존하는 고성능 실리콘 센서 부품의 국산화로 연 200억원 이상의 예산을 절감할 수 있다”며 “나아가 연 1조원 규모로 예상되는 세계시장을 놓고 일본과 일전을 겨룰 수 있을 것”이라고 말했다.

　<대전=박희범기자 hbpark@etnews.co.kr>