차세대LCD 수율높이기 `비상`

　화학기상증착(CVD)·에처·세정 등 LCD 장비업체들은 자석 및 공기를 주입한 비접촉식 반송기술을 도입하거나 체임버(chamber) 수를 줄인 콤팩트(compact)형 장비를 설계하는 등 묘안짜기에 안간힘을 쏟고 있다.

　LG필립스LCD와 삼성전자가 발표한 차세대 LCD 규격인 6세대(1500×1850㎜)와 7세대(1870×2100㎜)의 경우 유리기판 면적이 기존 5세대(1100×1250㎜)에 비해 1.8∼2.7배나 커져 기판 반송시 처짐현상 및 이물질(파티클) 발생 가능성이 매우 높아졌기 때문이다.

　전문가들은 “처짐현상과 파티클이 발생하면 앞선 가공기술을 확보하더라도 공정의 균질성이 확보되지 않아 수율확보에 치명타가 될 수 있다”고 입을 모으고 있다.

　에스티아이(대표 노승민)는 최근 개발한 6세대용 세정장비에 자석과 공기를 주입해 유리기판이 장비에 닿지 않도록한 비접촉식 반송기술을 도입했다. 또한 일본 시바우라와 기술을 제휴한 에스씨케이(대표 이희춘)는 현재 개발중인 6세대 세정장비에 수직반송 기술을 도입하는 방안을 검토하고 있으며, 케이씨텍(대표 고석태)도 비접촉식 반송방식과 함께 기판 처짐현상을 최소화하기 위한 경사반송 방식 등을 도입키로 했다.

　CVD·에처 등 핵심공정장비 개발업체들도 사정은 마찬가지다.

　동경엘렉트론은 3개 체임버로 구성된 5세대 LCD용 드라이 에처를 6세대에서는 2개 체임버로 줄여 반송거리를 최소화하는 방안을 검토중이며 LCD용 CVD 개발업체 AKT는 파티클 프리(particle free) 재료를 사용한 반송로봇을 6세대 장비에 도입할 계획이다.

　이세진 에스씨케이 전무는 “그동안 CVD·에처·세정 장비들을 개발할 때에는 플라즈마 소스 기술이나 세정기술 등 핵심기술에 연구가 집중됐지만 6세대 LCD 장비부터는 대형 유리기판 반송기술 확보가 매우 중요해지고 있다”며 “6세대 일부 장비의 경우 5세대 장비를 업그레이드하면 어느 정도 이 문제를 해결할 수 있을 것으로 보이지만 7세대 이상에서는 기존 반송방식과 완전히 다른 기술이 필요할 것”이라고 전망했다.

　<장지영기자 jyajang@etnews.co.kr>