스웨즈락, 반도체 제조용 PT센서 출시

　스웨즈락(http://www.swagelok.com)은 반도체 생산공정에 사용되는 가스관 압력 상태를 전기신호로 알려주는 PT(Pressure Transduce)센서인 PTU시리즈<사진>를 출시했다고 19일 밝혔다.

　이번에 출시한 PTU시리즈는 금속박막센싱기술로 일관되고 정확한 기능을 수행할 수 있으며 유지보수 횟수와 불시에 발생하는 고순도 가스시스템의 고장 발생 빈도를 최소화할 수 있는 장점을 갖고 있다.

　스웨즈락 측은 “금속박막센싱기술은 엘질로이(Elgiloy) 재질의 다이아프램 상에 금속박막 저항회로로 구성돼 있어 폭넓은 온도 범위에서의 신뢰성 있는 값과 연간 전체 스케일의 오차 범위가 0.2%를 넘지 않는 안전성을 제공한다”고 설명했다.

　이번에 출시된 PTU시리즈는 단일 연결 싱글엔드형, 양단 연결 플로스루형, 블록 탑재 모듈형 등이 있으며 전방 직시 또는 조감이 가능한 디지털LED를 장착하고 있다.

　스웨즈락 측은 내부 전자부품 교체가 가능해 빠르고 간편한 유지보수가 가능하며 출력값 변화에 유연하게 대처할 수 있어 재고 부담을 덜 수 있다고 덧붙였다.

　한편 미국 오하이오주에 본사를 둔 스웨즈락은 반도체 제조는 물론 연구 및 계측·제약·낙농·식음료 생산에서 정유 및 가스 등에 이르기까지 다양한 산업공정에 사용되는 유체시스템 개발에 전념하고 있다.

　<장지영기자 jyajang@etnews.co.kr>