관련 통계자료 다운로드 나들 타입 프로브 유닛과 멤스 유닛 비교 반도체 및 LCD 장비업체인 파이컴(대표 이억기 http://www.phicom.co.kr)은 초소형미세가공시스템(MEMS·멤스) 기술을 이용한 박막트랜지스터 액정표시장치(TFT LCD) 검사장치 ‘멤스 유닛’을 세계 최초로 개발했다고 22일 밝혔다.
멤스 기술을 이용한 이 제품은 60㎛ 피치(pitch)까지 검사할 수 있는 기존 니들(needle) 타입 ‘프로브 유닛(probe unit)’에 비해 정밀도가 2배 이상 높아져 30㎛ 피치까지 대응할 수 있다.
이억기 사장은 “멤스 유닛은 기존 니들 타입에서는 검사할 수 없었던 IZO패드까지 검사할 수 있는 등 기능과 성능면에서 훨씬 업그레이드된 개념”이라며 “수작업에 의존해 개발하던 니들 타입과 달리 반도체 공정을 통해 대량 생산할 수 있어 생산성도 아주 높은 편”이라고 말했다.
파이컴은 이 제품을 니들 타입과 비슷한 가격에 공급, 기존 프로브 유닛 시장을 빠르게 대체해 나간다는 전략이다.
이 사장은 “TFT LCD 생산업체와 이미 제품 테스트를 끝낸 상태며 물량공급을 위한 막바지 협상을 진행중”이라며 “올해 이 제품 판매를 통해 100억원 가까운 매출을 올릴 계획”이라고 덧붙였다.
파이컴은 올해 초 멤스 기술을 활용한 프로브 카드(반도체 검사장치) ‘멤스 카드’를 세계 최초로 선보인 바 있다.
한편 프로브 유닛은 개발이 완료된 TFT LCD 기판에 전기적 신호를 보내 불량유무를 확인하는 후공정용 검사장치다.
<장지영기자 jyajang@etnews.co.kr>
