AKT, 6세대 FPD 제조용 PECVD 장비발표

　평판디스플레이(FPD)용 PE(Plasma Enhanced) 화학기상증착(CVD) 장비 세계 1위 업체인 AKT(대표 캠 로 http://appliedmaterials.com)가 6세대 박막트랜지스터 액정표시장치(TFT LCD) 패널 제조에 이용되는 PECVD장비(모델명 AKT-25K PECVD)를 한국·미국·일본 등에서 동시에 발표했다.

　이 장비는 종전 5세대에 비해 면적이 75% 가량 늘어난 1500×1800㎜급 마더글라스 가공에 적합하며 올해 중반기께부터 양산될 예정이다.

　또한 5개의 공정처리실 운용방식을 채택해 5세대급 설비와 동등한 수준의 작업 처리량을 유지하며 단결정 및 비정질형 실리콘, 산화 실리콘, 질산화 실리콘, 질화 실리콘 등의 박막을 단일막이나 적층막으로 성막할 수 있다.

　AKT는 일본 LCD 제조업체로부터 주문을 받아 장비를 생산중이며 대만 등 기타 국가의 업체들과는 제조협상을 진행중이다. 한국업체들이 검토하고 있는 확장형 6세대(1800×2000㎜급) 장비에 대해서는 정식 제조요구를 받는 시점부터 적극적으로 대응할 계획이다.

　<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>