뉴메리컬, 삼성에 위상반전 기술 제공

　단파장 노광(리소그래피) 개발 전문업체인 미국 뉴메리컬테크놀로지(대표 나렌 구프타 http://www.numeritech.com)는 최근 삼성전자와 최신 S램 생산용 위상반전기술 라이선스 계약을 체결했다고 22일밝혔다.

　뉴메리컬의 위상반전기술은 노광장비를 이용한 단파장 집적회로(IC) 제조공정에 사용되는 기술로 불화아르곤(ArF) 노광장비로 제작한 9㎚ 크기의 세계 초소형 트랜지스터 제조 연구개발에 이용된 바 있다.

　삼성전자는 이 기술을 도입해 내년 초부터 120㎚ 이하 공정의 첨단소자를 생산한다는 계획이다.

　한편 뉴메리컬의 위상반전기술은 삼성전자·인텔·후지쯔·모토로라·UMC 등 반도체업체를 비롯해 설계자동화툴 공급자(벤더), 반도체장비업체, 포토마스크 제조업체 등이 사용하고 있다.

　<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>