`세미콘 재팬 2002` 개막

　‘세미콘 재팬(Semicon Japan) 2002’ 전시회가 4일 오전 일본 지바현 마쿠하리메세(Makuhari Messe)에서 개막된다.

　세계반도체장비재료협회(SEMI·대표 스탠리 마이어스 http://www.semi.org) 주최로 6일까지 사흘 동안 열리는 이번 전시회는 ‘새로운 도전-풍요로운 미래를 향한 돌파구’라는 주제로 한국·미국·일본·유럽 등 전세계 10여개국 860여 반도체 공정용 장비·재료업체들이 참가, 웨이퍼 가공 및 패키지, 테스트 공정장비와 재료 등을 선보인다.

　특히 올해 전시회에서는 삼성테크윈·파이컴·이오테크닉스·에프에스티 등 국내 장비·재료업체들이 참가해 패키징 본더, 프로브 카드, 칠러 드라이어, 팰리클 등의 제품을 출품하는 등 일본시장 공략을 꾀한다는 방침이어서 주목된다.

　반도체 전공정 분야에서는 어플라이드머티리얼스·도쿄일렉트론·ASML 등 세계적인 장비업체들이 300㎜ 웨이퍼 프로세싱 장비와 초박막 장비, 포토 리소그래피 장비 등을 선보인다.

　한편 이번 전시회에서는 10개 종합 기술심포지엄(STS)과 반도체기술이 불러온 새로운 비즈니스 계획, 리소그래피, 나노테크놀로지, 패키징 기술에 대한 기술강연 등이 동시에 열릴 예정이다.

　 <지바(일본)=손재권기자 gjack@etnews.co.kr>