GE쿼츠, 300㎜ 웨이퍼 제조용 `쿼츠 크루서블` 공급

　쿼츠튜브 제조업체 GE쿼츠(대표 메리로즈 실베스터)는 최근 300㎜ 웨이퍼 제조용 석영(쿼츠) 크루서블(crucible)을 국내 웨이퍼 제조업체에 공급하기 시작했다고 14일 밝혔다.

　쿼츠 크루서블은 웨이퍼 단결정을 성장시키는 과정에서 폴리실리콘을 용해시키기 위해 쓰이는 석영 도가니다.

　GE쿼츠는 국내 웨이퍼 제조업체 L사의 300㎜ 웨이퍼 제조라인에 월 5∼10개씩 공급하고 있다.

　이 회사의 박성현 이사는 “300㎜ 쿼츠 크루서블은 단단하고 고도의 정제과정을 통해 재활용이 가능할 정도로 견고한 것이 특징”이라고 설명했다.

　<손재권기자 gjack@etnews.co.kr>