동우화인켐, 대만 TSMC에 40갤런 공급

　반도체 및 박막트랜지스터 액정표시장치(TFT LCD) 제조용 화학재료업체 동우화인켐(대표 한의섭 http://www.dwchem.co.kr)은 최근 대만 TSMC에 차세대 감광제(포토레지스트)인 불화아르곤(ArF) 광원용 포토레지스트 40갤런(약 151L)을 공급했다고 11일 밝혔다.

　차세대 감광제인 ArF 광원용 포토레지스트 개발경쟁이 치열한 가운데 시제품이 아닌 정식 제품이 수출되기는 이번에 처음이다.

　동우화인켐은 전북 익산공장에서 I라인 및 불화크립톤(KrF) 포토레지스트를 양산하고 있다.

　이 회사의 한 관계자는 “대만 TSMC에 제품 형식으로 수출하게 된 것은 그동안 ArF 포토레지스트 개발에 주력한 결과”라면서 “차세대 극자외선 포토레지스트 시장개척에 적극적으로 나설 계획”이라고 말했다.

　<손재권기자 gjack@etnews.co.kr>