태화일렉트론, 신개념 건조장치 UDG 개발

　평판디스플레이(FPD)장비 전문업체인 태화일렉트론(대표 신원호 http://www.thec.co.kr)은 기존 세정 건조공정의 문제점들을 해결한 신개념 건조장치 ‘UDG(Ultra Dry Gate)’를 개발했다고 4일 밝혔다.

　태화일렉트론이 일본의 교와화공과 공동개발한 이 장비는 종전 FPD 세정공정에서 발생하는 표면산화, 건조 후 수분흔적(water mark), 추가 탈수장치 필요 등의 문제점들을 해결했다.

　또 박막트랜지스터 액정표시장치(TFT LCD) 제조공정은 물론 유기EL, 플라즈마디스플레이패널(PDP) 등 모든 FPD 제조공정에 적용할 수 있으며 5세대에 이은 6세대급 TFT LCD(1500×1850㎜) 제조공정까지 대응 가능하다.

　신원호 사장은 “신개념 건조장치는 완벽한 수분제거가 가능해 별도의 탈수장치를 갖추지 않아도 되며 장비설치면적(footprint)을 획기적으로 줄여 건조공정에 소요되는 시간 및 비용 절감효과가 탁월하다”고 말했다.

　이 회사는 연내 반도체 제조공정에 사용하는 건조장치를 추가로 개발해 제품다양화와 함께 사업영역 확대에 박차를 가한다는 방침이다.

　<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>