전상훈씨 반도체 국제학술회의에서 최우수논문상 선정

　광주과학기술원(K-JIST·원장 나정웅) 신소재공학과 박사과정 4년차인 전상훈(29)씨의 논문이 최근 일본 도쿄에서 열린 전자 소자 및 공정 관련 국제 학술회의 ‘SSDM(International Conference on Solid State Devices and Materials)’에서 최우수논문으로 선정됐다.

　전씨는 전기전자공학회(IEEE)와 일본응용물리학회(JSAP)가 주최한 학술대회에서 ‘게이트 절연막 응용을 위한 질화처리된 극박막 나노라미네이트’라는 제목의 우수논문을 발표해 오는 9월 청년 과학자상(Young Researcher Award) 수상자로 뽑혔다.

　전씨는 고온 공정이 불가피한 기존 상보성 금속산화막 반도체(CMOS) 공정에서 하이-케이(high-K) 절연막의 열적 불안정성을 해결하기 위해 나노라미네이트 구조와 질화 처리를 체계적으로 연구해 열적 안정성을 현저히 개선할 수 있다는 연구결과를 발표했다.

　SSDM은 반도체 과학기술분야에서는 세계적으로 권위를 인정받고 있는 학회로 지난 1969년에 처음 개최됐으며 매년 새로운 전자 소자 및 물질에 관한 핵심연구를 위해 학술대회를 개최해 오고 있다.

　<광주=김한식기자 hskim@etnews.co.kr>