스위스 에코피직스 CMP용 공정완료 측정기 코리아멀티테크서 공급권 획득

　반도체 장비 및 소재 전문업체인 코리아멀티테크(대표 김종수 http://www.koreamultitec.com)는 스위스의 환경분석 업체인 에코피직스가 개발한 웨이퍼 연마장비(CMP)용 공정완료 측정기(End Point Detector)의 판매권을 획득, 공급에 나설 예정이라고 21일 밝혔다.

　이 제품은 반도체용 실리콘웨이퍼를 연마할 때 연마공정의 완료점을 정확하게 제어하는 솔루션으로, 웨이퍼 연마시 발생하는 질소화학성분을 측정하는 화학발광법을 이용, 실시간으로 공정 상태를 측정·제어할 수 있는 게 특징이다.

　또 성분측정 한계가 10ppt 이하, 반응속도가 0.5초 이하로 정확도 및 속도의 신뢰성이 높아 단위 시간당 생산량 증가에 의한 원가절감이 가능하다.

　특히 종전에 사용한 광학간섭계에 의한 잔막두께 측정방식이나 모터전류 측정방식은 연마공정 완료점의 정확한 측정이 불가능하고 박막 두께의 제어편차가 커 소자특성에 악영향을 끼쳤으나 이 제품은 이같은 방식의 단점을 극복했다고 회사측은 밝혔다.

　이 회사의 김종수 사장은 “이 솔루션은 정확도가 뛰어날 뿐만 아니라 적용 가능한 공정도 트랜치 절연공정(STI), 층간 절연막공정(ILD), 금속층간 절연막공정(IMD) 등 다양하다”며 “국내 소자업체와 CMP장비 개발업체들을 대상으로 판매에 나설 예정”이라고 말했다.

　<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>