TSMC 200mm 웨이퍼 장비 어플라이드에 발주

　세계 최대 파운드리 업체인 TSMC가 생산능력 확대를 위해 2억달러 상당의 200㎜ 웨이퍼 장비를 어플라이드머티리얼스에 발주했다고 실리콘스트래티지스가 익명의 소식통을 인용해 보도했다.

　이에 따르면 TSMC는 동인터커넥션 파운드리 생산능력을 2배로 늘리기 위해 200㎜ 장비를 주문했으며 조만간 ASML, KLA-덴코, 노벨러스, 루돌프테크놀로지스 등에도 장비를 추가 발주할 예정이다.

　TSMC가 200㎜ 장비 구매에 나서는 것은 그동안 300㎜ 웨이퍼 기술에 대한 집중적인 투자를 공공연히 강조해왔던 것에 비춰 이례적인 일이다.

　이에 대해 TSMC의 대변인은 언급을 거부했지만 파운드리 수요를 맞추기 위해 200㎜와 300㎜ 팹 생산능력 모두를 확대할 것이라고 밝혔다.

　TSMC는 최근 당초 지난해 22억달러보다 크게 줄어든 16억5000만달러로 책정했던 올해 자본 지출 규모를 25억7000만달러로 확대 조정한다고 밝혔었다. 이는 ATI, 엔비디아, 비아 등 고객사의 주문 폭주로 최신 파운드리가 완전가동에 들어갔기 때문이다.

　한편 지난달 TSMC의 경쟁사인 UMC도 PC와 기타 제품 수요 증가로 가동률이 늘고 있다고 밝힌 바 있다.

　<황도연기자 dyhwang@etnews.co.kr>