세계 최대 반도체 노광 광원장치업체 美사이머, 한국공장 기공

　세계 최대의 반도체 노광공정용 엑시머광원(Eximer Light Source) 장치업체인 미국의 사이머(Cymer)가 한국에 생산공장을 건설한다.

　사이머의 한국법인인 싸이머코리아(대표 팽재원)는 지난 주말 경기도 평택시 어연한산산업단지내 공장신설부지에서 본사 파스칼 디디에 사장과 국내 업계 관계자들을 초청한 가운데 공장 기공식을 가졌다.　

　9918㎡(3000평)의 대지에 건평 3306㎡(1000평) 규모로 오는 9월 완공될 싸이머코리아의 평택공장은 사이머가 미국 이외의 지역에서 건설하는 해외 최초의 공장이며 이 공장을 유치하기 위해 그동안 한국·일본·대만 등 사이머 현지법인들이 치열한 경합을 벌여 왔다.　

　평택공장은 9월 완공 이후 11월까지 반도체 노광공정용 엑시머광원장치의 핵심모듈인 극자외선(DUV) 레이저용 체임버(chamber)를 시험생산하고 12월부터 연간 350대 규모의 생산라인을 가동할 예정이다.　

　DUV 레이저용 체임버는 DUV 스테퍼 및 스캐너 등 노광장비에 레이저 광원을 공급, 웨이퍼에 회로패턴을 형성할 수 있도록 해주는 핵심장치다.　

　싸이머코리아의 팽재원 사장은 “레이저 체임버를 국내에서 생산함에 따라 국내 소자업체들에 원가절감의 기회를 제공할 수 있을 뿐만 아니라 납기도 크게 단축할 수 있을 것”이라며 “생산제품은 일본·대만·중국·말레이시아 등에도 수출될 예정이어서 외화 획득에도 기여하게 될 것”이라고 말했다.　

　또 “앞으로는 체임버 외에도 전체 시스템을 조립생산하는 종합생산능력을 갖춰 한국공장을 아시아 전체를 총괄하는 생산기지로 육성하겠다”고 밝혔다.　

　한편 미국 샌디에이고에 본사를 둔 사이머는 DUV 스테퍼 및 스케너용 광원을 생산·공급하는 레이저 전문회사로 그동안 전세계 소자업계에 2000여대의 레이저장비를 공급했으며 이 가운데 270여대를 국내 삼성전자·하이닉스반도체·동부전자·아남반도체 등에 공급했다.

<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>