표준硏, `정밀계측 팹` 본격 운영

　반도체, 정보통신, 신소재, 생명공학, 항공·우주 분야 등 미래산업의 기반기술 개발에 필수적인 고정밀 계측기기 팹이 대덕연구단지에 구축됐다.

　한국표준과학연구원(원장 은희준)은 지난 97년부터 지난해 말까지 LG산전·범아정밀·바이오니아·아펙스 등 대기업 및 중소기업 161곳이 회원으로 참여한 가운데 산업자원부로부터 총 65억6000만원의 사업비를 지원받아 정밀계측 팹을 개방실험실 내에 구축하고 본격적인 운영에 들어갔다고 24일 밝혔다.

　이번 사업기간에 구축된 장비는 나노스펙·디지털 마이크로스코프·진동시험기·내수성 시험기 등의 성능 및 신뢰성 평가, 계측기기·센서 제작 지원을 위한 실리콘 미세가공장비 등으로 고가면서도 운영에 전문기술인력이 필요해 업체 단독으로 구입하기 어려운 75개 품목이다.

　표준연은 이들 장비의 원활한 활용을 위해 원내에 계측기기연구센터를 설립하고 450㎡ 규모의 실리콘미세가공실험실과 210㎡ 규모의 신뢰성평가실험실, 120㎡의 성능평가실험실, 390㎡ 규모의 신기술보육공간 등을 모두 갖춘 개방실험실을 마련했다.

　이곳에서는 계측기기 및 센서의 성능이나 환경, 신뢰성 시험과 나노리소그래피, 박막두께측정, 금속박막 증착, 포토레지스트 등의 건식식각, 초미세기계가공(MEMS)의 기계적 물성 측정, 극저온 생성 등 다양한 분야의 기술개발 지원이 가능하다.

　표준연은 원내 연구성과확산사업단에서 수행하고 있는 기술이전사업, 창업보육센터사업, 산·학·연 공동기술개발 컨소시엄사업 등을 이번에 구축된 센터와 연계해나갈 방침이다. 또 표준연은 회원사에 대해서는 장비 및 기술자문, 교육훈련 등에 소요되는 비용을 20% 할인해주고 향후 혜택 범위와 회원사를 점차 늘려나갈 계획이다.

　은희준 원장은 “계측기기 분야는 전기·전자·기계·컴퓨터 등 각종 기기와 설비·연관기술이 복합된 고부가가치 유망산업”이라며 “정밀계측 팹을 통해 향후 30억달러 규모의 국산화 대체효과가 기대된다”고 말했다.

　<대전=박희범기자 hbpark@etnews.co.kr>