SMIC, 중국서 처음으로 0.18미크론 샘플 선봬

　

　중국의 파운드리 업체인 SMIC가 중국에서는 처음으로 0.18미크론 공정의 웨이퍼 엔지니어링 샘플을 내놓았다고 EE타임스가 보도했다.

　SMIC의 수석 연구원인 크리스 창은 “SMIC가 올해말부터 0.18미크론 공정의 완전 가동에 들어갈 것”이라며 “SMIC는 0.25미크론 리소그래피 시스템으로 0.18미크론 웨이퍼를 만드는 상전이 마스크 생산이 가능한 세계적 수준의 마스크 공장을 자체 확보하고 있다”고 말했다.

　현재 상하이의 후아홍NEC일렉트로닉스, 톈진의 모토로라 공장 등 중국의 다른 8인치 팹(FAB)은 외국업체의 0.18미크론 포토마스크를 도입하기 위해 정부의 승인을 기다리고 있는 상황이다. 후아홍NEC측은 올해중으로 승인이 날 것으로 기대하고 있다.

　한편 SMIC는 지난 1월부터 월 5000장의 웨이퍼를 생산중이며 연말까지 월 생산량을 3만장으로 늘린다는 목표다. 또 상하이 인근의 두번째 공장이 완전가동에 들어가는 2003년 6월에는 월 생산량이 4만5000장에 달할 것으로 기대하고 있다.

　<황도연기자 dyhwang@etnews.co.kr>