에프에스티, 콤퓨레셔 칠러 시제품 개발

　에프에스티(대표 장명식 http://www.fstc.co.kr)는 반도체 제조공정에 쓰이는 컴프레서 칠러(chiller)의 시제품 개발을 마쳤다고 18일 밝혔다.

　컴프레서 칠러는 반도체 공정 중 웨이퍼를 식각할 때 발생하는 열을 제어해주는 자동온도조절장치로 열전모듈을 이용한 기존 전기식 칠러에 비해 크기는 큰 반면 더 낮은 온도까지 제어할 수 있는 장점이 있다.

　펠리클(pellicle) 중심의 사업을 반도체 장비 분야로 확대하기 위해 지난해 전기식 칠러 사업에 진출했던 이 회사는 이번에 컴프레서 칠러를 추가로 개발함에 따라 상품 다양화를 통한 매출확대 효과를 거둘 수 있을 것으로 보고 있다.

　에프에스티는 이 장비에 대해 최종 성능시험을 거쳐 다음달 말께 완제품 양산에 착수할 예정이다.

　<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>