반도체 장비 부품 세정사업 뜬다.

　반도체 장비·부품 정밀세정사업이 뜨고 있다.

　1일 관련업계에 따르면 반도체 공정 중 부품에 쌓이는 각종 불순물을 세정, 재활용해주는 이 분야 전문업체들의 사업이 소자업체의 원가절감 노력과 맞물려 급부상하고 있다.

　반도체산업의 호황기 때는 마모되거나 오염된 부품들을 새것으로 교체·사용하던 소자업체들이 원가절감을 위해 코미코·알파크린테크·월드세미·윈앤윈·서광 등 전문세정업체들을 통한 부품의 재활용 비율을 높이고 있다는 것이다.

　이에 따라 초기에는 단순세정을 통한 부품 재활용에 초점을 맞췄던 세정전문업체들도 정밀세정을 통해 공정수율을 끌어올리는 것은 물론 소자업체의 모든 부품을 관리해주는 역할까지 맡아 반도체산업의 경쟁력 강화에도 도움을 준다는 계획이다.　

　지난 96년 설립된 코미코(대표 전선규 http://www.komico.com)는 98년 10억원의 매출을 올린 이래 매년 100% 이상 매출이 급성장해 올해 190억원의 매출을 예상하고 있다.

　식각장비(에처)와 LCD 스퍼터용 부품세정사업을 주력으로 하는 이 회사는 화학기상증착(CVD) 장비와 반도체 스퍼터용 부품의 세정기술개발을 완료하고 하반기부터 본격 사업영역을 대폭 확대할 예정이다. 또 홈페이지를 통해 고객이 손쉽게 자사 부품의 세정 진행률과 부품 수명을 확인할 수 있도록 하는 등 종합부품관리업체로 거듭나겠다는 목표다.

　알파크린테크(대표 조남흥 http://www.alphacleantech.com)는 일본 캐논의 화학기상증착(CVD)장비용 부품관리를 전문으로 하고 있다. 지난해 28억원의 매출을 올린 이 회사는 기술개발을 통해 내년에는 식각장비용 부품세정시장에도 진출할 계획이다.

　반도체 스퍼터용 실드를 전문으로 세정하는 월드세미(대표 오학수 http://www.worldsemi.co.kr)는 지난해 15억원의 매출을 올렸다. 하이닉스반도체로의 매출이 많았던 이 회사는 고객 다양화에 박차를 가하고 이달중 설비증설을 통해 식각장비용 부품세정사업에도 뛰어든다.

　지난해 설립된 윈앤윈(대표 이종성 http://www.win-wintech.com)도 식각장비용 부품세정기술을 개발하고 소자업체와 테스트를 진행하는 등 사업화에 적극 나서고 있다.

　업계 관계자는 “장비부품에 생기는 미세 파티클은 수율에 직접적인 영향을 미치며 수율이 1% 하락하면 소자업체는 1000억원 가량의 손실을 입게 된다”고 말하고 “외국에도 정착되지 않은 부품세정전문사업이 국내에서 활발한 것은 경쟁력 강화를 위해 바람직한 현상”이라고 말했다.

<정진영기자 jychung@etnews.co.kr>