애셔 국산화 작업 활발

　애싱(ashing) 장비의 국산화 작업이 활발하게 추진되고 있다.

　14일 업계에 따르면 반도체 제조공정에서 발생하는 잔유물을 플라즈마 가스 등을 이용해 제거하는 애셔(asher) 개발에 피에스케이테크·코삼·유니셈 등 국내업체가 잇따라 나서고 있어 국산화 전망을 밝게 하고 있다.

　연간 500억원 규모인 국내 애셔시장은 미국·일본 등의 업체들이 70% 가량을 점유하고 있으나 내년에는 동급 성능에 가격경쟁력이 훨씬 높은 국산 장비가 출시될 예정이어서 외산장비의 시장점유율은 50% 미만으로 크게 낮아질 전망이다.

　국내 유일의 애셔 양산업체 피에스케이테크(대표 박경수 http://www.psktech,com)는 200㎜ 이하의 웨이퍼 가공에 사용할 수 있는 베치타입과 싱글타입 애셔를 개발, 소자업체에 공급해온데 이어 올들어서는 300㎜ 장비를 추가로 개발, 시장확대에 나섰다.

　이 회사는 지난 상반기 개발완료한 300㎜용 싱글타입 애셔 3대를 삼성전자 11라인에 공급, 안정성을 입증받았으며 내년 1분기에는 성능을 다양화한 300㎜ 장비를 추가로 개발, 국내외 시장개척에 나선다는 계획이다.

　칠러 전문업체 코삼(대표 김범용 http://www.cosam.co.kr)은 사업다각화 차원에서 올해초 애셔사업 진출을 선언한 후 지난 5월말 300㎜용 싱글타입 알파버전 장비 개발에 성공했다.

　코삼은 국내 소자업체를 대상으로 한 성능시험에서 좋은 평가가 나오자 오는 11월 기능을 개선한 베타버전 장비를 개발해 본격적인 시장공략에 나서기로 하는 한편, 내년 하반기 300㎜ 장비시장이 열릴 것을 대비해 300㎜ 등으로 장비를 다양화할 예정이다.

　유니셈(대표 김경균 http://www.uni-sem.com) 역시 가스세정장비와 칠러 등이던 주력사업을 다양화하기 위해 애셔장비사업 본격화를 검토중이다. 지난해 9월 200㎜ 싱글타입 애셔를 개발, 미국업체에 시험공급한 경험이 있는 이 회사는 반도체장비시장의 회복시점을 고려해 애셔 양산시기를 결정한다는 계획이다.

　　<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>