세심광전자기술 액정셀 갭 측정기 개발

　전북대학교 실험실 창업 벤처기업인 세심광전자기술(대표 김진승)이 지난 8개월 동안 8000만원을 투입해 PC 임베디드 방식의 액정셀 두께(갭) 측정기를 개발, 일진다이아몬드에 납품했다고 25일 밝혔다.

　할로겐 텅스텐 램프를 광원으로 사용해 8인치 웨이퍼 기판에서 셀 갭을 측정하는 이 장비는 파장에 따라 변하는 액정셀의 분광투과곡선에 FFT(Fast Fourier Transform) 알고리듬을 적용, 측정시간을 2초 미만으로 단축시켰다.

　또 배향막(PI)과 산화인듐주석(ITO) 코팅의 굴절률 분산을 고려한 자체 알고리듬을 적용, 0.002㎛의 측정 재현성과 1㎛ 위치 정밀도를 구현했으며 액정이 있는 셀과 없는 셀을 하나의 장비로 측정할 수 있어 기존 제품보다 60% 정도 저렴하다.

　이 회사는 다음 달 액정온실리콘(LCoS)과 반사형 보급형 액정표시장치(STN LCD), 박막트랜지스터 액정표시장치(TFT LCD) 제품에 적용할 수 있는 반사형 셀 갭 측정기를 출시할 계획이다.

　<정진영기자 jychung@etnews.co.kr>