<한국반도체산업대전2001>협회장상수상작:이디펙

◆장비·재료부문:태광-다이어프램·벨로즈 밸브

　태광(대표 윤종규 http://www.tkbend.co.kr)은 반도체 가스공급용 공기구동식 다이아프램(pneumatic diaphragm) 및 벨로즈 밸브(bellows valve) 등으로 장비 및 재료 부문 협회장상을 수상했다.

　이들 제품은 그동안 국내 소요물량의 전부를 일본·미국 등지에서 수입하던 반도체 제조라인 및 장치용 다이아프램 밸브 및 벨로즈 밸브를 국산화한 것이다.

　태광이 보유하고 있는 초정밀 가공기술과 내면 전해연마처리 기술을 바탕으로 개발된 제품들은 클린룸내에서 행해지는 초순수 세정 및 이중 진공포장에 이르기까지 안정된 품질관리기반에서 제작됐다. 또 국산화를 통해 가격인하효과를 가져옴으로써 국내 반도체 제조사 및 관련 장치 제조사의 경쟁력 확보에 이바지할 수 있게 됐다.

　국내에서는 외국의 유명 제조사와 치열한 경쟁을 벌여 삼성전자·하이닉스반도체·동부전자·페어차일드 등의 신규 제조라인 공사에 공급됐고 이들 소자업체를 통해 품질이 검증됨에 따라 지금은 역으로 해외시장을 공략하고 있다.

　또 최근에는 세계 최대의 반도체 장비 메이커인 미국의 어플라이드머티리얼스가 실시한 기본 품질평가에 합격돼 조만간 미국을 비롯, 일본·대만에 본격적인 수출도 가능할 것이라는 게 회사측의 전망이다.

　태광 SCT사업본부 김영호 이사는 “태광은 밸브 국산화의 선두주자로 해외의존도가 높은 반도체 제조장치의 부품류를 지속적으로 개발하기 위해 투자를 강화하고 있다”며 “향후 2∼3년내에 관련 매출은 500억∼700억원을 상회할 것으로 기대된다”고 말했다.