<한국반도체산업대전2001>재료분야출품업체:LG실트론

　◆LG실트론-웨이퍼



　LG실트론(대표 정두호 http://www.lgsiltron.co.kr)은 이번 전시회에 4∼12인치까지의 폴리시드 웨이퍼(polished wafer)와 5, 6, 8인치 크기의 에피텍셜(epitaxial) 웨이퍼 등을 선보인다.

　LG실트론의 주력제품인 8인치 웨이퍼의 경우 128MD램, 256MD램의 생산에 적용되고 있으며 0.10㎛(직경 200m 축구장에 0.1㎜ 크기의 모래를 관리하는 정도)의 파티클도 용납하지 않을 정도로 무결정 결함, 고평탄도, 고청정 특성을 지니고 있다.

　반도체기술이 고도화되고 고집적화됨에 따라 웨이퍼가 대구경화하고 있는 상황에서 12인치 웨이퍼의 수요는 올해 연간 70만장 규모에서 2005년에는 연간 1360만장으로 예상되는 등 연평균 81%의 고성장이 전망된다. LG실트론은 차세대 대용량 반도체 제조에 채택될 12인치 웨이퍼를 자체기술로 개발하고 내년 하반기부터 양산에 들어갈 예정이다.

　또 기존 폴리시드 웨이퍼가 가지고 있는 한계를 뛰어 넘기 위해 표면 결함이 적고 전기적 특성이 우수해 각종 비메모리 소자와 고집적 메모리 소자를 제조하는 데 적합한 에피 웨이퍼와 기존 웨이퍼 내부에 절연층을 형성시켜 고집적도, 저전력, 저전압 반도체 소자를 제조할 수 있는 신개념의 SOI(Silicon On Insulator) 웨이퍼 개발에도 성공했다.

　LG실트론은 이번 전시회를 통해 LG실트론에 대한 인지도를 높이고 제품의 영업에도 많은 성과가 있을 것으로 기대했다.

　

　

　<정진영기자 jychung@etnews.co.kr>