<한국반도체산업대전2001>전공정장비출품업체:다산씨앤드아이

　◆다산씨앤드아이-칠러

　다산씨앤드아이(대표 오희범 http://www.dasancni.co.kr)가 전시하는 주요제품은 칠러, 스크러버, 항온항습기 등이다.

　칠러는 반도체 생산공정 중 에치(etch), 화학기상증착(CVD) 등 공정장비의 체임버내 캐소드(cathode)와 월(wall) 등의 온도를 미세하고 정확하게 유지시켜 웨이퍼의 수율, 에치율, 균일성을 증대시켜 주는 역할을 한다.

　다산씨앤드아이의 칠러는 국내 최초로 써모메트릭 모듈을 이용한 전기적 냉각방식을 채택했다. 이 방식의 원리는 1834년에 프랑스 화학자 펠티어(Peltier)에 의해 발견된 펠티어 효과에 근간을 두고 있으며 이것은 서로 열전도가 상이한 물질들을 결합시켜 전기적 에너지를 열로 전환시켜주는 효과를 가지고 있다.

　이 회사의 써모메트릭 칠러는 전통적인 냉매방식의 칠러와는 달리 몇가지 장점을 지니고 있다.

　세계적으로 환경친화적인 측면이 강조되면서 오존층을 파괴시키는 냉매의 사용을 규제하고 있는 상황에서 기존 냉매가 아닌 전기식 방식을 채택했으며 온도조절이 신속정확해 300㎜ 웨이퍼 적용이 가능하며 제품의 크기가 작아 설치공간을 최소화해 장비운용에 따른 효율성을 높였으며 기존 장비에 비해 소비전력을 낮춰 유지 및 보수 비용을 절감했다.

　이 회사의 전기식 칠러는 1998년 국산화 이후 전기식 시장의 붐을 조성해 국내 시장의 50% 가량을 점유하고 있다.