<한국반도체산업대전2001>전공정장비출품업체:코삼

　◆코삼-칠러

　코삼(대표 김범용 http://www.cosam.co.kr)은 전시회에 항온항습기와 칠러 등을 출품한다.

　칠러는 반도체 공정 중 식각공정에서 웨이퍼의 표면을 화학적·물리적으로 식각할 때 체임버내에서 발생하는 열을 제어, 양질의 웨이퍼를 생산할 수 있도록 해주는 자동온도조절장치다.

　이 회사의 칠러는 신냉매를 사용하는 냉동 칠러(brine chilling unit)와 열전모듈을 사용해 온도를 조절하는 전기 칠러(thermoelectric chilling unit) 두 가지로 구분된다.

　이 중 냉동 칠러는 컴프레서를 이용하고 전기 칠러는 열전소자를 이용해 냉동 사이클을 순환시켜 냉각제(coolant)의 온도를 정밀하게 제어하는 것으로 삼성전자를 비롯한 소자업체에 공급됐다.

　칠러와 함께 출품된 항온항습공기공급장치(THC:Temperature Humidity air Controller)는 포토 공정에서 포토레지스트 코팅을 하는 트랙(track) 장비나 얼라이너(aligner) 장비 중 광학렌즈의 항온·항습 유지와 오염제거용으로 사용하는 장비로 올 한해에만 200∼300대의 수요가 예상된다.

　코삼의 THC는 반도체의 포토레지스트 코팅 공정 중 웨이퍼 표면에 감광막 도포의 균일도를 유지하기 위해 쿨링 체임버내의 온습도를 제어하는 기능을 제공하며 온도제어 범위는 ±0.05도, 습도 제어범위는 ±0.25% 수준이다.