<한국반도체산업대전2001>후공정장비출품업체:파이컴

　◆파이컴-프로브 카드



　파이컴(대표 이억기 http://www.phicom.com)은 반도체의 기능과 성능을 검사하는 프로브 카드(probe card) 및 유닛과 레이저 가공품 등을 출품한다.

　이 회사의 프로브 카드는 반도체 제조공정 중 웨이퍼를 완성한 후 이를 각각의 칩으로 절단(sawing)하기 전에 반도체의 기능과 성능을 검사하기 위한 핵심장치로 웨이퍼 또는 칩과 테스터의 중간매개체로 활용된다. 주기능은 해당 칩의 양·불량을 검사하는 기능을 수행한다.

　프로브 카드는 반도체는 물론 평판디스플레이(FPD), 플라즈마디스플레이패널(PDP) 제품의 검증에도 활용되는 등 그 적용범위가 확대되고 있어 시장이 날로 커져가는 추세다.

　파이컴이 개발해 시판중인 프로브 카드는 메모리, 주문형반도체(ASIC), 액정표시장치드라이버IC(LDI), 칩온글라스(CoG), 마이크로컨트롤러유닛(MCU) 등 모든 종류의 칩 검사에 적용할 수 있는 제품이다.

　또 메모리 또는 비메모리 60개를 동시에 측정할 수 있는 기능을 가지고 있다.

　이 회사는 평판디스플레이 제조공정 중 셀(cell)의 최종 검사단계에서 패널상 데이터·게이트 라인의 모든 전극에 일관 접촉해 비주얼 테스트를 실행할 수 있는 프로브 유닛도 함께 출품한다.

　이밖에도 반도체, 평판디스플레이, 인쇄회로기판, MEMS(Micro Electro Mechanical System) 분야 등에서 엑시머 레이저 등의 레이저 광원을 이용한 고정밀 레이저 미세가공 서비스 제품을 전시한다.

　<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>