<한국반도체산업대전2001>미리 본 세미나:실리콘 웨이퍼 재료 기술

　◇MEMC사 전문가 3명

13일 오후 1시 30분부터는 서울무역전시장 2층 세미나실에서 실리콘 웨이퍼 재료기술 워크숍이 열린다. 이 워크숍에서는 실리콘 웨이퍼 제조공정 및 최근 개발추세 등이 소개될 예정이다.

　웨크숍은 MEMC에서 자체 제작한 ‘Silicon:The foundation of technology’라는 실리콘 웨이퍼 제조공정 전반에 관한 25분짜리 비디오 상영을 시작으로 단결정 성장공정 및 미세결함 제어기술, 최근 가장 크게 문제가 되고 있는 COP(Crystal Originated Particle)와 이것이 반도체 소자 특성에 미치는 영향, 산소 석출현상 및 첨단 제어기술, 에피택셜(epitaxial) 웨이퍼 제조공정 등 4가지 주제에 대한 세미나가 연이어 진행된다.

　강사로는 MEMC코리아 직원 2명과 미국 MEMC의 본사 직원 1명이 주제발표를 한다.

　주 대상은 반도체 소자업체의 실리콘 웨이퍼 담당 경력 1∼3년 내외의 엔지니어들이지만 기타 구매·자재·품질·공정기술 엔지니어들도 실리콘 웨이퍼 제조기술을 쉽게 이해할수록 공정별 소개와 최근 개발추세에 대한 개괄적 내용이 포함돼 있다.

　MEMC는 세계 최초로 실리콘 웨이퍼를 상업생산한 회사로 수년 전부터 세계 지역별로 돌아가며 반도체 소자업체들을 초청, 실리콘 웨이퍼 재료기술 워크숍을 개최하고 있다. 올해 4월에는 미국 텍사스주 오스틴시에서 미국 중서부 지역 소자업계를 대상으로 워크숍을 실시해 호평을 받은 바 있다.

　MEMC코리아는 국내 최초로 실리콘 웨이퍼 소재에 대한 기술세미나를 개최하는 데 큰 의의를 두고 있으며 특히 주요 사용처인 반도체 소자업체들이 대거 참관하는 SEDEX 기간에 같은 장소에서 개최함으로써 실리콘 웨이퍼 소재업체와 이를 주기판으로 사용하는 반도체 소자업체간의 기술교류에 많은 기여를 할 것으로 예상하고 있다.

　<최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>