금호석유화학, 나가세 켐텍스와 공동으로 ArF 포토레지스트 공동개발협약 체결

　합성고무 및 폴리스티렌계 수지 생산업체 금호석유화학(대표 박찬구 http://www.kkpc.co.kr)이 일본 나가세켐텍스와 공동으로 향후 2년 동안 100억원을 투자해 차세대 반도체 재료인 불화아르곤(ArF) 감광제(포토레지스트)를 개발하기로 했다고 6일 밝혔다.

　계약에 따라 금호석유화학은 개발 책임을 맡고 나가세켐텍스가 기존에 g라인, i라인 포토레지스트를 생산하던 공정기술과 장비 및 인력을 지원하며 개발이 완료되면 양사는 포토레지스트 전문 합작회사를 설립해 국내외 시장을 공략하기로 했다.

　금호석유화학은 지난 97년 순수 노보넨 계통의 수지를 도입, 자체적으로 ArF 포토레지스트를 개발하면서 국내 9건, 일본 4건, 미국 3건, 대만 4건 등 관련 특허 등록을 마쳤으며 충남 아산에 준 양산라인 건설을 완료, 반도체업체들을 대상으로 평가를 진행중이다.

　ArF 포토레지스트는 아르곤(Ar)과 불소(F)의 화합물로 포토리소그래피 공정에 필요한 193㎚의 빔을 생성, 최고 0.07미크론(1㎛은 100만분의 1m)의 회로선폭을 형성시킬 수 있어 차세대 기가급 이상 반도체 제조에 필수적인 재료로 각광받고 있다.

　<정진영기자 jychung@etnews.co.kr>