나노사업단, 미국과 MOU체결

　과학기술부 21세기 프론티어 연구개발사업의 일환으로 발족한 테라급나노소자개발사업단(단장 이조원)은 미국의 국가나노기술공용시설연합(NNUN·대표 샌딥 티와리)과 최근 코넬대학에서 미국 국가나노기술공용시설(Nano-fabrication Center)의 공동 사용에 관한 양해각서(MOU)를 교환했다고 28일 밝혔다.

　이번 협정에 따라 테라급나노소자개발사업단은 국내에 나노기술공용시설이 구축될 때까지 NNUN의 나노관련 시설을 미국대학 수준의 저렴한 가격으로 사용할 수 있게 된다.

　또 국내에는 아직 10㎚ 소자를 일괄공정할 수 있는 E빔 리소그래피나 임플랜터 등의 장비가 없어 10㎚급 나노소자의 개발이 어려웠으나 이번 협정으로 이 분야의 기술개발이 3∼4년 앞당겨질 것으로 전망된다.

　사업단 관계자는 “국과위가 지난 7월 국가나노기술 종합발전계획을 수립, 산·학·연 모두가 이용할 수 있는 나노공용시설의 설립을 추진중에 있으나 10나노미터급 나노소자의 전공정을 구현할 수 있는 시설은 2∼3년 후에나 설치될 예정이어서 이번 협정이 갖는 의미가 크다”고 말했다.

　<대전=박희범기자 hbpark@etnews.co.kr>