[IMID 2001]부품·재료 전문업체(4)

◇이엔씨테크놀로지

　검사장비업체인 이엔씨테크놀로지(대표 이성원)는 이번 전시회에 자체기술로 개발한 다양한 제품을 출품, 일반에 선보인다.

　이 회사의 검사장비는 차세대 디스플레이로 주목받고 있는 액정표시장치(LCD)·유기EL 등 평판디스플레이(FPD)의 전기·광학적 기능을 평가하는 장비로 구성되는데 FPM시스템·IVL시스템과 감성품질평가장비 등이다.

　출품 장비 가운데 FPMS 장비는 사용자의 편의를 고려한 프로그램 인터페이스와 측정을 위한 기준점을 자동으로 찾아주는 자동정렬 기능이 돋보인다.

　IVL시스템은 현재 개발 중인 유기EL에 사용자가 원하는 패턴을 드라이버 없이 구동할 수 있는 유기EL 신호발생기(signal generator)를 옵션으로 사용할 수 있다.

　이 회사의 이성원 사장은 “현재 유기EL 신호발생기는 국내에서 처음으로 개발된 시스템”이라며 “실제로 이 시스템의 신뢰성과 성능을 소자업체로부터 인정받아 대기업인 L사에 공급한 적이 있다”고 밝혔다.

　이엔씨테크놀로지는 FPD 평가솔루션에 대해 LG·오리온·네스·CLD등 국내 주요 유기EL업체와 업무제휴를 체결하고 협력업체로 안정된 시장을 확보한 상태기 때문에 앞으로 이를 바탕으로 대만·중국 등의 수출에도 적극 나설 계획이다.

　

◇한택

　반도체장비업체인 한택(대표 한종훈 http://www.hantech.co.kr)은 이번 전시회에 FPD 검사장비를 자체 개발해 출품한다.

　이 회사가 출품한 FPD 자동매크로검사기 ‘HMA-400E’는 LCD 셀 검사와 모듈 검사 등 기존에 사람이 직접 눈으로 하던 검사공정(목시검사)을 자동화하는 데 응용할 수 있으며, PDP와 유기EL·마이크로디스플레이 등의 FPD 목시검사 자동화에도 응용이 가능하다.

　이 제품은 인간의 시각 기능과 유사한 처리 기능을 적용시켜 생산제품의 품질 균일화를 돕게 된다.

　또 이 제품은 고속 영상처리시스템의 개발과 프로그램 최적화를 통해 기존 영상처리 방법보다 훨씬 복잡하고 정교한 처리를 가능토록 함으로써 숙련된 작업자의 시각 능력과 유사한 결함검출 성능을 확보하는 데 성공했다.

　FPD의 결함은 밝기 차이로 나타나는데 여러 가지 작업 환경에 의해 검사 조건이 균일하지 않아 LCD의 백라이트가 정상이라도 전체 밝기 차이는 균일하지 않다. 이에 따라 목시검사시국부적으로 밝기 차이를 측정하게 되는데 한택의 장비는 이런 국부적 콘트라스트비(local-contrast)를 측정, 1% 이내의 밝기 차이도 검출함으로써 목시검사보다 높은 검사효과를 갖는다.

　또한 정량화하기 힘든 얼룩 불량 정도를 정량화해 체계적인 관리를 가능케 해주는 등 디스플레이업체의 비용감소 및 품질향상 차원에서 좋은 반응을 기대하고 있다.

　

◇에이엔에스

　지난 98년 11월에 설립된 벤처기업인 에이엔에스(대표 배경빈 http://www.ansinc.co.kr)는 반도체 전공정 장비 중 스퍼터링(sputtering)·CVD 및 증발시스템 등의 풍부한 제작 경험을 바탕으로 차세대 주력 디스플레이로 유력시되는 유기EL 제조증착 장비 전문제작업체다.

　이번 전시회에서 플라즈마를 이용한 시편 전처리·유기물 증착·금속막 증착 및 정렬공정을 고진공 상태에서 연속으로 진행할 수 있는 EL3600·EL5200 및 풀 컬러 유기EL 소자를 제조할 수 있는 클러스터(cluster) 타입의 ‘헬리시스(HELISYS)’를 선보일 예정이다.

　헬리시스는 풀 컬러 OLED 디바이스 개발 및 시제품 생산을 목적으로 하고 있으며 8각 변환 모듈에 기판(substrate) 전처리(pre-treatment) 모듈과 HIL·HTL·EML·ETL 등의 유기물질을 증착할 수 있는 모듈, 일렉트로드(electrode) 모듈 및 로드로크(loadlock) 모듈 등을 하나의 클러스터 툴로 연결해 연속공정을 진행할 수 있게 한다. 이 장비는 또한 뛰어난 유기물 증착 균일도 및 정렬 정도를 확보하고 있다.

　에이엔에스에서 공급한 헬리시스를 이용한 삼성SDI가 올해 6월 SVGA급(800×600) 해상도를 가진 8.4인치 풀 컬러 소재를 개발하는 데 성공해 헬리시스의 탁월한 성능을 인정받기도 했다.

　에이엔에스는 양산장비 개념의 ‘헬리시스-XP’도 선보일 예정이며 올 하반기까지 풀 컬러 OLED 양산장비를 출시할 계획이다.　

◇메닉스

　지난 96년 설립돼 반도체 및 LCD 장비의 국산화 분야에서 성과를 올리고 있는 메닉스(대표 손승철 http://www.menics.com)는 이번 전시회에서 차세대 면저항측정기(RSM-1250C)를 선보인다. 차세대 면저항측정기 RSM-1250C는 기판 사이즈 1100×1250×0.7t에서 사용이 가능하며 네트워크를 이용한 원격제어가 가능하다. 또한 기존 모델에 비해 측정 속도를 한층 빠르게 구현했으며 측정 오차를 최소화하는 한편 측정 영역도 넓게 확장시켰다.

　RSM-1250C는 4포인트 프로브를 이용해 TFT LCD와 PDP·컬러 필터용 평판시료의 면저항 을 측정·분석한다. 이 장비는 신속하고 정확한 동작과 데이터를 얻을 수 있으며, 클라스 10에 적용할 수 있도록 설계·제작됐으며 모든 과정이 입력 프로그램에 따라 전자동으로 진행되는 첨단장비다.

　메닉스는 국내 LCD 생산업체와 PDP·유기EL 개발생산업체를 대상으로 본격적인 영업에 나설 예정이다.

　메닉스는 TFT LCD·PDP 분야의 연구개발에 주력해 접촉식 면저항측정기(sheet resistance measurement system)과 비접촉식 면저항측정기(non-contact sheet resistance measurement system)를 개발하는 한편 LCD 양산라인 적용을 위한 레이저 유리절단장치를개발 중이다.

　　

◇한맥전자

　지난 88년 설립된 한맥전자(대표 최종배 http://www.hanmacco.co.kr)는 PDP 영상검사장비를 전시회에 출품한다. PDP 영상검사장비는 고해상도(2048×2048) 카메라·컬러 분석기·패턴 제너레이터를 기본으로 해 대면적 PDP 영상을 검사한다.

　이 시스템은 PDP 영상의 품질을 결정하는 휘도 및 색도 등의 컬러 특성 외에 점결함·크로스토크(crosstalk)·전압마진을 검사할 수 있고 PDP 제품의 영상 특성과 사용자의 검사 기준에 따라 적합한 PDP 생산공정의 최종검사를 수행한다.

　이 장비는 특히 점결함 검사의 경우 고해상도 카메라에 의해 전체 화면을 한번에 검사할 수 있고 각 도트의 결함 개수와 위치를 실시간으로 확인할 수 있다.

　PDP 패널 한 대당 검사시간은 100가지 전압조건을 입력해 전압마진을 측정할 경우 3분 이내 완료할 수 있으며 다양한 사양의 PDP에 대응할 수 있도록 PDP 사양 설정 메뉴도 동시에 제공한다.

　한맥전자는 외국의 계측장비 등을 대학 및 연구소에 공급해오면서 습득한 신기술을 바탕으로 94년 기술연구소를 설립하고 97년 산업자원부 지원으로 LCD용 DC특성측정장비를 개발, 시판했으며 98년부터 PDP 영상평가장비와 3차원 측정기인 3D 레이저 영상입력기 등을 개발해 공급하고 있다.　

◇유진시스템

　유진시스템(대표 배인곤)은 이번 전시회에 PDP 패널 에이징시스템을 출품한다. PDP 에이징 장비는 PDP 패널에 봉착, 배기 후에 가스 방전을 원활히 하고 이물질 제거 등에 사용되는 장비다. 이는 셀 점등이 안된 상태로 제작된 PDP 패널을 점등, 수명을 연장시키고 방전을 원활히하는 역할을 한다.

　유진시스템은 98년부터 오리온전기와 에이징 장비 공동개발에 나서 국산화에 성공하는 성과를 올렸다. 유진시스템의 에이징 장비는 외국 제품에 비해 가격이 10분의 1에 지나지 않는 경쟁력을 갖추고 있다.

　유진시스템이 출품한 에이징시스템은 배치 타입과 인라인 타입 등 2종인데 배치 타입은 4단 내지 5단으로 구성돼 수동으로 검사가 진행되며, 인라인 타입은 대량물류자동화 라인에 적용해 로봇이 자동으로 패널을 올려주게 돼 생산성을 획기적으로 높일 수 있다. 특히 에이징 공정은 20시간 이상을 요하기 때문에 자동화의 비용절감 효과가 높을 것으로 기대하고 있다. 이 제품들은 36인치에서 63인치 크기의 패널까지 핸드링할 수 있게 설계됐다.

　유진시스템은 이 장비로 PDP산업이 성장일로에 있는 대만 및 중국 시장을 공략한다는 계획이다. 이에 따라 대만 지역 몇몇 업체와 접촉하며 수출선 확보에 힘쓰고 있다.

　이 회사 배인곤 사장은 “4년여에 걸친 독자적 국산화를 통한 기술이 축적돼 있어 국내 시장은 물론 해외 시장에서도 경쟁력을 갖추고 있다”고 자신했다.

<김용석기자 yskim@etnews.co.kr>