브룩스 오토메이션, 한백에 LTPS LCD 제작장비용 클러스터 툴 공급

　반도체 및 LCD 공정용 자동화기기 전문업체인 브룩스오토메이션아시아(대표 로버트 테리안)가 한백(대표 박근섭 http://www.hanvac.co.kr)에 글라스 자동 이송장치인 진공 클러스터 툴(MX 4000)을 공급했다고 25일 밝혔다.

　이 설비는 한 개의 매엽식 적재기와 3개의 프로세스 모듈을 장착할 수 있는 4각 형태의 클러스터 툴로 한백이 패널업체와 공동개발하고 있는 300×350㎜ 유리기판용 저온폴리실리콘(LTPS) 박막트랜지스터 액정표시장치(TFT LCD) 제작장비에 장착될 예정이다.

　한백에 장비와 소프트웨어 및 유저인터페이스를 포함한 토털솔루션을 제공한 브룩스오토메이션은 차세대 IMT2000 단말기용 디스플레이로 각광받는 LTPS TFT LCD 수요증가가 예상됨에 따라 관련장비 수요도 크게 늘어날 것으로 기대하고 있다.

　 <정진영기자 jychung@etnews.co.kr>