리소그래피업체, ArF 스캐너 잇따라 선보여

　리소그래피(lithography) 장비시장을 놓고 에이에스엠엘과 니콘프레시전간의 경쟁이 뜨겁다.

　3일 관련업계에 따르면 전세계 반도체 소자업체들이 생산효율성 향상을 위해 미세공정 도입에 나서고 있는데 따라 에이에스엠엘·니콘프레시전 등 리소그래피 업체들은 차세대 광원인 불화아르곤(ArF)을 채택한 스캐너 등을 앞다퉈 선보이면서 시장개척에 적극 나서고 있다. 에이에스엠엘코리아(대표 서인학)는 이달 미국에서 열리는 세미콘웨스트 전시회에서 193㎚ 파장의 ArF 광원을 내장한 신장비 ‘PAS5500/1100’을 전시하는 것을 계기로 하반기부터 이를 주력상품화해 시장개척에 나선다는 전략이다.

　3년 전 하이닉스반도체에 연구개발(R&D)용 ArF 리소그래피 ‘PAS5500/900’을 공급한 바 있는 이 회사는 국내에서 이미 성능검증작업이 완료됐다고 보고 ArF 리소그래피 사업을 강화하기로 했다.

　이 회사는 국내 소자업체들이 도입을 추진하고 있는 0.12미크론 또는 0.13미크론 미세공정의 경우 기존의 불화크립톤(KrF) 광원 스캐너로도 성능구현이 가능하므로 0.8NA(Numerical Aperture) KrF 스캐너인 ‘PAS5500/800’을 지속적으로 공급하고 시스템IC 및 차세대 D램연구소 등에는 차세대 장비 ‘PAS5500/1100’과 올해 말 출시예정인 300㎜ 웨이퍼용 ‘트윈스캔’등으로 차별공급한다는 계획이다.

　니콘프레시젼코리아(대표 아즈마 토루)는 세미콘웨스트 전시회에 오는 8월부터 양산 예정인 ArF 스캐너 ‘NSR-S305B’를 비롯해 2003년 양산예정인 ‘NSR-S306C’ 등을 출품하면서 차세대 스캐너 시장개척에 박차를 가할 예정이다.

　이미 양산용 장비로 인텔·LSI·IBM 등에 ArF 스캐너를 공급한 바 있는 이 회사 역시 ArF 신장비 출시를 계기로 시장선점의 기회를 노리는 한편, 미세공정에 적용 가능한 KrF 스캐너와 차세대 ArF 스캐너 등으로 이원화된 시장개척 전략을 구사한다는 방침이다.

　이 회사는 과거 삼성전자·동부전자·아남반도체 등에 0.12∼0.13미크론 성능의 KrF 스캐너 ‘NSR-204B’를 공급한 경험을 토대로 하반기중 성능이 개선된 KrF 스캐너 ‘NSR-205C’로 추가시장을 공략하는 한편, 내년 이후의 시장을 대비해 ArF 계열의 ‘NSR-300’시리즈로 시장을 개척하기로 했다.

　이 회사는 하반기부터 적극적인 자체 영업활동과 더불어 국내 소자업계의 엔지니어 교육 목적의 트레이닝센터를 개설해 장비 및 성능의 우수성을 홍보할 예정이다.

　 <최정훈기자 jhchoi@etnews.co.kr>